[精密金屬乾蝕刻 規格]
打標速度：>2500 mm/s
打標範圍：20*20mm
最小線寬：50um±15um
最小孔徑：>30um±10um
最大蝕刻深度：10~30um±2.5um
[3D量測儀 規格]
⊙提供兩波段量測650nm/ 405nm
1. 雷射波長405 nm 量測解析度0.5um
量測精度1 um, WD=0.5mm
2. 雷射波長650 nm 量測解析度1 um
量測經度2 um, WD=1.65mm
3. 單點量測時間1.5 sec (最快)
4. 高精度XY 滑台(解析精度0.5um)
5. 高精度Z向滑台(解析精度0.5um)
6.高效能DSP 計算模組
[3D量測儀 測量功能]
1.透過專利3D量測模組可以精準量測鋼板的高度
2.自動比對圖紋光罩與蝕刻後面積比
3.計算任意兩點或多點高度差
(滑鼠點選即完成設定)
4. 可任意計算任何截面的高度資訊
5.以滑鼠規劃量測路徑方便快速
6.資料儲存與OFFICE 相容可快速分析資料並繪成3D圖形
目前使用目視及拍照的方式來確定雷射點打到的位置