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3D 量測儀
全自動精密金屬乾蝕刻 3D 量測儀
精密金屬乾蝕刻加工與 3D 量測,最小線寬 50 µm、最大蝕刻深度 10–30 µm。
針對精密金屬乾蝕刻製程的全自動 3D 量測設備。
規格
打標速度
> 2500 mm/s
打標範圍
20 × 20 mm
最小線寬
50 µm ± 15 µm
最小孔徑
> 30 µm ± 10 µm
最大蝕刻深度
10–30 µm ± 2.5 µm
應用情境
精密金屬乾蝕刻製程量測
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