產品項目

針對半導體光罩、晶圓圖形與高度量測的自動化檢測設備。

半導體光罩檢測機 TG-9901-LED

高速掃描半導體光罩與晶圓圖形並自動辨識判別，最大掃描範圍 200 mm（8 吋），可依特殊需求訂製。

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高度檢測儀 TG-Caliper

雙波段雷射（650 nm / 405 nm）高度量測，解析度最高 0.5 µm，可計算任意截面與多點高度差。

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涵蓋 DB、WB、COB 與錫膏製程的芯片外觀自動檢測，並可搭配封包、挑揀設備串接產線。

半導體芯片外觀檢測機 Alien-2000D

涵蓋 DB IC／MEMS、WB 打線、COB 與錫膏製程的芯片外觀不良檢出。

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封包機

搭配芯片外觀檢測產線使用的自動封包設備。

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挑檢機

依檢測結果自動分類挑揀的設備，可與外觀檢測機台串接。

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隱形眼鏡濕片與鏡片的全線自動化 AOI 外觀檢測。

隱形眼鏡全線自動化 AOI

整合上下料與檢測流程的隱形眼鏡全線自動化 AOI 外觀檢測系統。

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隱形眼鏡 5M Lens AOI

隱形眼鏡鏡片外觀 AOI 檢測設備。

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精密 3D 量測，以及對位移印、輪圈自動檢測等客製化自動化設備。

全自動精密金屬乾蝕刻 3D 量測儀

精密金屬乾蝕刻加工與 3D 量測，最小線寬 50 µm、最大蝕刻深度 10–30 µm。

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全自動對位移印機

自動鋼板定位與即時印刷校正，印刷速度 1 pcs/sec，In line / Off line 皆可使用。

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自動化輪圈檢測

自動檢測瑕疵並研磨，適用不規則物體與金屬曲面。

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以深度學習輔助傳統 AOI，檢出低對比、不規則 pattern 等規則式演算法不易處理的瑕疵。

駿曦 AI 輔助 AOI 檢測系統

以卷積神經網絡（CNN）輔助傳統 AOI，檢出低對比與不規則 pattern 瑕疵，並可即時分類。

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