產品項目半導體光罩檢測機

半導體光罩檢測機 TG-9901-LED

高速掃描半導體光罩與晶圓圖形並自動辨識判別，最大掃描範圍 200 mm（8 吋），可依特殊需求訂製。

以高速取像掃描半導體光罩與晶圓圖形，並自動完成辨識判別。標準掃描範圍最大 200 mm（8 吋），若有特殊需求可另行訂製。

規格

掃描範圍（最大）	200 mm（8 吋）；若有特殊需求可訂製
辨識判別速度	4 吋 wafer WPH = 180 片/小時；6 吋 wafer WPH = 90 片/小時

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