You are here: 駿曦股份有限公司 > 產品項目 > 半導體光罩檢測機 > 半導體

PRODUCTS 半導體

掃描範圍(最大)：
200mm (8”) <若有特殊需求可訂製>

辨識判別速度：
4吋wafer WPH >= 180片/小時
6吋wafer WPH >= 90片/小時