[設備規格]
⊕提供兩波段 量測650nm/ 405nm
1. 雷射 波長 405 nm 量測解析度 0.5um
量測經度 1 um, WD=0.5mm
2. 雷射 波長 650 nm 量測解析度 1 um
量測經度 2 um, WD=1.65mm
3. 單點量測時間 3 sec (最快)
4. 高精度XY 滑台 (解析精度 0.5um)
5. 高精度Z向滑台 (解析精度0.5um)
6. 高效能DSP 計算模組
7. 設備Dimension 1000x1000x1800(mm)
[量測功能]
1.自動比對 圖紋光罩與蝕刻後面積比
2.計算任意兩點或多點高度差(滑鼠點選即完成設定)
3.可任意計算任何截面的高度資訊
4.以滑鼠規劃量測路徑方便快速
5.資料儲存與 OFFICE 相容可快速分析資料並會成3D圖形